【Produkt introduktion】
MATERIALE EGENSKAPER
Parameter | Karakteristisk | ASTM-kontrollmetod |
Typ / Dopningsmedlet | P, Bor N, Fosfor N, Antimon N, Arsen | F42 |
oriente | <100>, <111> skiva av orienteringar per kunds specifikationer | F26 |
Syreinnehåll | 10 19 ppmA Anpassade toleranser per kunds specifikation | F121 |
Kolinnehåll | <0,6> | F123 |
Resistivitetsområdena -P, Boron-N, fosfor-N, antimon-N, arsenik | 0,001 - 50 ohm · cm | F84 |
MEKANISKA EGENSKAPER
Parameter | främsta | Övervaka / Testa A | Testa | ASTM-metod |
Diameter | 150 ± 0,2 mm | 150 ± 0,2 mm | 150 ± 0,5 mm | F613 |
Tjocklek | 675 ± 20 μm (standard) | 675 ± 25 μm (standard) 450 ± 25 μm 625 ± 25 μm 1000 ± 25 μm 1300 ± 25 μm 1500 ± 25 μm | 675 ± 50 μm (standard) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Rosett | <30> | <30> | <50> | F657 |
Slå in | <30> | <30> | <50> | F657 |
Kantavrundning | SEMI-STD | F928 | ||
Märkning | Endast primär SEMI-lägenhet, SEMI-STD Flats Jeida Flat, Notch | F26, F671 | ||
YTTRÄDE KVALITET
Parameter | främsta | Övervaka / Testa A | Testa | ASTM-metod |
Framsidakriterier | ||||
Ytans tillstånd | Kemisk mekanisk polerad | Kemisk mekanisk polerad | Kemisk mekanisk polerad | F523 |
Ytsträvhet | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Föroreningar, partiklar @> 0,3 μm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, gropar, apelsinskal | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Sågmärken, strieringar | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Tillbaka sidokriterier | ||||
Sprickor, kråkor, sågmärken, fläckar | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Ytans tillstånd | Caustisk etsad | F523 | ||
【 Produktbeskrivning】
Perfekt för mikrofluidikapplikationer. För mikroelektronik eller MEMS-applikationer, kontakta oss för detaljerade specifikationer.
Halvledaranordningarna fortsätter att krympa, det blir allt viktigare för skivor att ha hög ytkvalitet på både fram- och baksida. För närvarande är dessa skivor vanligast i mikroelektromekaniska system (MEMS), waferbindning, silikon på isolator (SOI) -fabrikation och applikationer med snäva flathetskrav. Mikroelektronik erkänner halvledarindustrins utveckling och är engagerad i att hitta långsiktiga lösningar för alla kunders krav.
Stort lager av dubbelsidiga polerade wafers i alla waferdiameter från 100mm till 300mm. Om din specifikation inte är tillgänglig i vår inventering har vi etablerat långsiktiga relationer med många leverantörer som har kapacitet för anpassade tillverkningsskivor för att passa alla unika specifikationer. Dubbelsidiga polerade skivor finns i kisel, glas och andra material som vanligen används inom halvledarindustrin.
Anpassad dicing och polering är också tillgänglig enligt dina krav. Kontakta oss gärna.
【 Produktfunktioner 】
· 6 "P / N-typ, Polerad kiselplatta (25 st)
· Orientering: 150
· Resistivitet: 0,1 - 40 ohm · cm (Det kan variera från sats till sats)
· Tjocklek: 675 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade
Populära Taggar: 6 tum (150mm) wafer, Kina, leverantörer, tillverkare, fabrik, tillverkad i Kina
