【Produkt introduktion】
MATERIALE EGENSKAPER
Parameter | Karakteristisk | ASTM-kontrollmetod |
Typ / Dopningsmedlet | P, Bor N, Fosfor N, Antimon N, Arsen | F42 |
oriente | <100>, <111> skär bort orienteringar per kunds specifikationer | F26 |
Syreinnehåll | 10 18 ppmA Anpassade toleranser per kundens specifikation | F121 |
Kolinnehåll | <0,5 ppma="" anpassade="" toleranser="" per="" kundens=""> | F123 |
Resistivitetsintervall-P, Boron-N, fosfor-N, Antimon-N, Arsenik | 0,001 - 50 ohm · cm | F84 |
MEKANISKA EGENSKAPER
Parameter | främsta | Övervaka / testa A | Testa | ASTM-metod |
Diameter | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,5 mm | F613 |
Tjocklek | 525 ± 20 μm (standard) | 525 ± 25 μm (standard) 381 ± 25 μm 625 ± 25 μm 700 ± 25 μm 800 ± 25 μm 1000 ± 25 μm 1500 ± 25 μm | 525 ± 50 μm (standard) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Rosett | <30> | <30> | <40> | F657 |
Slå in | <30> | <30> | <40> | F657 |
Kantavrundning | SEMI-STD | F928 | ||
Märkning | SEMI-STD-lägenheter, endast primära SEMI-plattor | F26, F671 | ||
YTTRÄDE KVALITET
Parameter | främsta | Övervaka / testa A | Testa | ASTM-metod |
Framsidakriterier | ||||
Ytförhållande | Kemisk mekanisk polerad | Kemisk mekanisk polerad | Kemisk mekanisk polerad | F523 |
Ytsträvhet | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Föroreningar, partiklar @> 0,3 μm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, gropar, apelsinskal | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Sågmärken, strieringar | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Tillbaka sidokriterier | ||||
Sprickor, kråkor, sågmärken, fläckar | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Ytförhållande | Caustisk etsad | F523 | ||
【 Produktbeskrivning】
Microelectronics produktlinje innehåller både enkelsidiga polerade (SSP) och dubbelsidiga polerade (DSP) wafersubstrat. Dubbelsidiga polerade skivor krävs vanligtvis i halvledare, MEMS och andra applikationer där skivor med tätt kontrollerade flathetskarakteristika krävs.
Vi erbjuder också rektangulära och kvadratiska wafer bitar. Basiskt realiserbart intervall av kantlängderna för kiselplattor är 5 x 5 mm2 ... 100 x 120 mm2 etc. Kostnads- / skivdelarna beror på materialet och antalet waferstycken som krävs.
Anpassad dicing och polering är också tillgänglig enligt dina krav. Kontakta oss gärna.
【 Produktegenskaper 】
· 4 "P / N typ, Polerad kiselplatta (25 st)
· Orientering: 100
· Resistivitet: 0,1 - 40 Ohm · cm (Det kan variera från sats till sats)
· Tjocklek: 525 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade
Populära Taggar: 4 tum (100mm) wafer, Kina, leverantörer, tillverkare, fabrik, tillverkad i Kina
