Beskrivning

Tekniska parametrar

Produktintroduktion

12 inch(300mm) Polished Wafer DSC01251 730

12 inch(300mm) Polished Wafer DSC01700 730

Materialegenskaper

Parameter	Karakteristisk	ASTM -kontrollmetod
Typ/dopande	P, Bor N, fosfor N, Antimon N, Arsenic	F42
Orienteringar	<100>, <111>Skiva av orienteringar per kundens specifikationer	F26
Syreinnehåll	10¹⁹PPMA anpassade toleranser per kundens specifikation	F121
Koldioxidinnehåll	< 0.6 ppmA	F123
Resistivitetsområden	0.001 - 50 ohm cm 0.1 - 40 ohm cm 0.005 - 0.025 ohm cm <0,005 ohm cm	F84

Mekaniska egenskaper

Parameter	Främsta	Övervaka/ testa a	Testa	ASTM -metod
Diameter	300 ± 0,2 mm	300 ± 0,2 mm	300 ± 0,5 mm	F613
Tjocklek	775 ± 20 um (standard)	775 ± 25 um (standard) 450 ± 25 um 625 ± 25 um 1000 ± 25 um 1300 ± 25 um 1500 ± 25 um	775 ± 50 um (standard)	F533
Ttv	< 5 µm	< 10 µm	< 15 µm	F657
Rosett	< 30 µm	< 30 µm	< 50 µm	F657
Sjal	< 30 µm	< 30 µm	< 50 µm	F657
Kantrundning	Halvstd			F928
Märkning	Endast primär halvplatt			F26, F671

Ytkvalitet

Parameter	Främsta	Övervaka/ testa a	Testa	ASTM -metod
Framsida kriterier
Ytskick	Kemisk mekanisk polerad	Kemisk mekanisk polerad	Kemisk mekanisk polerad	F523
Ytråhet	< 2 A°	< 2 A°	< 2 A°
Contamination,Particles @ >0.3 µm	= 20	= 20	= 30	F523
Dis, gropar, orange skal	Ingen	Ingen	Ingen	F523
Sågmärken, striationer	Ingen	Ingen	Ingen	F523
Baksida kriterier
Sprickor, crowsfeet, sågmärken, fläckar	Ingen	Ingen	Ingen	F523
Ytskick	Kaustisk etsad			F523

Produktbeskrivning

Perfekt för mikrofluidikapplikationer . För mikroelektronik eller MEMS -applikationer, vänligen kontakta oss för detaljerade specifikationer .

While semiconductor devices continue to shrink, it is becoming increasingly important for wafers to have high surface quality on both their front and back side. Currently these wafers are most common in microelectromechanical systems (MEMS), wafer bonding, silicon on insulator (SOI) fabrication, and applications with tight flatness requirements. Microelectronics acknowledges the evolution of the Halvledarindustri och har åtagit sig att hitta långsiktiga lösningar för alla kundkrav .

Stora lager av dubbelpolerade skivor i alla skivdiametrar som sträcker sig från 100 mm till 300 mm . Om din specifikation inte finns i vår inventering, har vi etablerade långsiktiga relationer med många leverantörer som är kapabla till anpassade tillverkare för att passa alla unika specifikationer . dubbla sidor med en säljare finns i Silic, glas och andra material för att passa alla unika specifikationer . dubbla sidor som är tillgängliga i SILIDER, Glass och andra material för att passa alla unika specifikationer. industri .

Anpassad tärning och polering är också tillgänglig enligt dina krav . Kontakta oss gärna .

Produktfunktioner

· 12 "P/N -typ, polerad kiselskiva (25 st)

· Orientering: 300

· Resistivitet: 0.1 - 40 ohm • cm (det kan variera från sats till batch)

· Tjocklek: 775+/-20 um

· Prime/monitor/testklass

Populära Taggar: 12 tum (300 mm) skiva, Kina, leverantörer, tillverkare, fabrik, tillverkade i Kina